[实用新型]一种蓝宝石晶片甩干头有效
| 申请号： | 201720781701.2 | 申请日： | 2017-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN207068802U | 公开（公告）日： | 2018-03-02 |
| 发明（设计）人： | 楚玉环 | 申请（专利权）人： | 青岛嘉星晶电科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 青岛发思特专利商标代理有限公司37212 | 代理人： | 巩同海 |
| 地址： | 266114 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及不需要使用加热方法干燥固体材料或制品的装置领域，具体而言，涉及一种蓝宝石晶片甩干头，甩干头表面沿径向均匀设置有若干凹槽，凹槽内设置有两寸边挡条，两寸边挡条沿圆周均布，两寸边挡条外侧沿圆周均布有四寸边挡条，两寸边挡条高度低于四寸边挡条。本实用新型可同时装载两寸和四寸晶片，甩干不同尺寸晶片时不需要来回更换甩干头，一次安装后不需插拔，不会影响机器的动平衡，不会污染晶片，提高了生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蓝宝石 晶片 甩干头 | ||
【主权项】：
一种蓝宝石晶片甩干头，其特征在于，甩干头为圆形，其表面沿径向均匀设置有若干凹槽(1)，凹槽(1)内设置有两寸边挡条(2)，两寸边挡条(2)沿圆周均布，两寸边挡条(2)与圆心的距离大于两寸小于四寸，两寸边挡条(2)外侧沿圆周均布有四寸边挡条(3)，四寸边挡条(3)与圆心的距离大于四寸，两寸边挡条(2)高度低于四寸边挡条(3)。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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