[实用新型]一种多自由度尺蠖式精密压电驱动器

摘要

本实用新型涉及一种多自由度尺蠖式精密压电驱动器，属于精密加工领域。可实现绕指定方向的精密步进式旋转运动和沿指定方向的步进式直线运动。主要由定子单元、转子单元和输出轴组成。其中定子单元中连接有对心式压电钳位机构和直线驱动机构；转子单元中连接有旋转驱动机构；输出轴为可变式接口转轴。通过控制转子单元上、中层基板压电钳位机构的钳位时间顺序，实现绕确定方向的步进式旋转运动；同时通过结合控制定子单元底部环形压电叠堆的伸缩量和上、下层基板压电钳位机构的钳位时间顺序，实现沿指定方向的步进式直线运动。本实用新型可应用于高精密驱动定位和加工领域，具有结构新颖、对中性好、工作稳定、控制效率高、输出精度高等优点。

主权项

一种多自由度尺蠖式精密压电驱动器,其特征在于：包括定子单元、转子单元和输出轴(1)；其中所述定子单元包括嵌有压电叠堆钳位的复合柔性铰链(13)的下层基板和直线驱动机构；所述的转子单元包括分别嵌有压电叠堆钳位的复合铰链(13)的上、中两层基板，和旋转驱动转化机构；所述的输出轴(1)为一转轴，轴的输出端开有螺纹孔与复合柔性铰链(13)上、中、下层基板的轴孔过渡配合。