[实用新型]用于晶圆测试的探针测试校正装置

摘要

本实用新型提供一种用于晶圆测试的探针测试校正装置，该装置包括底板，底板上设置有转动盘，转动盘内设置有丝杆，丝杆的延伸方向相互垂直，转动盘上设置有放置盘，放置盘内设置有凸起块，丝杆与凸起块邻接，放置盘的端面设置有吸附槽，转动盘与放置盘内均贯穿有真空管，真空管与吸附槽连通，底板上设置有连杆，连杆的第一端连接第一转动杆，连杆的第二端邻接真空管，转动盘的两侧均设置有固定架，放置盘设置在固定架之间，固定架上还设置有校正板，校正板上的开孔的中心与放置盘的中心共线设置，采用以上结构，通过校正黄钻之的多维度自由调节，在辅助焊接探针的过程中，探针能够准确接触晶圆上的芯片，保证探针焊接位置的精准度。

主权项

用于晶圆测试的探针测试校正装置，其特征在于，包括：底板，所述底板上设置有第一通孔、第二通孔；转动盘，所述转动盘可旋转地设置在所述底板上，所述转动盘上设置有第三通孔，所述转动盘内设置有两根丝杆，两根所述丝杆的延伸方向相互垂直；放置盘，所述放置盘可旋转地设置在所述转动盘上，所述放置盘靠近所述转动盘的一面设有开孔，沿所述开孔的边缘设置有凸起块，所述丝杆与所述凸起块邻接，所述放置盘的端面设置有吸附槽，所述开孔、所述第一通孔与所述第三通孔相互连通，所述开孔、所述第一通孔与所述第三通孔均贯穿有真空管；所述底板远离所述转动盘的一面设置有连杆，所述连杆的第一端连接第一螺杆，所述第一螺杆贯穿所述第二通孔，所述连杆的第二端邻接所述真空管；所述转动盘的两侧均设置有固定架，所述放置盘设置在所述固定架之间，所述固定架远离所述放置盘的一侧设有定位块；所述固定架上设置有校正板，所述校正板的第一端与第二端均设有定位孔，所述定位块贯穿所述定位孔，所述校正板的第一端与第二端之间设有校正部，所述校正部设置在所述转动盘两侧的所述固定架之间，所述校正部上设有开孔，所述开孔的圆心与所述放置盘的圆心在竖直方向上共线设置。