[实用新型]一种电子元件生产的光刻装置

摘要

本实用新型公开了一种电子元件生产的光刻装置，包括光刻框架，光刻框架内设置有夹紧螺栓，光刻框架内设置有硅片，光刻框架两端设置有光刻版，光刻框架上下两端设置有铝盖板，铝盖板两端通过固定螺栓连接有可旋转夹块，可旋转夹块包括夹块主体，夹块主体上设置有两个固定螺孔，夹块主体上设置有一V字开口，夹块主体侧面上设置有一转轴，转轴连接有支撑腿，通过带有夹紧螺栓的光刻框架来固定光刻加工的硅片，可对一定尺寸范围内的硅片进行光刻操作，而硅片通过两个光刻版固定，可对两个面进行曝光光刻，在使用的时候，可通可旋转夹块来实现光刻面的调节，可通过一台光刻机实现硅片两个面的加工操作，方便快捷，值得推广。

主权项

一种电子元件生产的光刻装置，其特征在于：包括光刻框架(1)，所述光刻框架(1)内设置有夹紧螺栓(2)，所述光刻框架(1)内设置有硅片(3)，所述光刻框架(1)两端设置有光刻版(4)，所述光刻框架(1)上下两端设置有铝盖板(5)，所述铝盖板(5)两端通过固定螺栓(6)连接有可旋转夹块(7)；所述可旋转夹块(7)包括夹块主体(8)，所述夹块主体(8)上设置有两个固定螺孔(9)，所述夹块主体(8)上设置有一V字开口(10)，所述夹块主体(8)侧面上设置有一转轴(11)，所述转轴(11)连接有支撑腿(12)。