[实用新型]一种用于气相双面沉积镀膜的掩膜夹具

摘要

本实用新型公开了一种用于气相双面沉积镀膜的掩膜夹具，包括上掩膜板、样品定位板和下掩膜板；上掩膜板上设有上掩膜开孔、第一紧固孔；下掩膜板上设有下掩膜开孔、定位槽、弹性片、掩膜片和第二紧固孔；下掩膜开孔与定位槽连通；弹性片和掩膜片顺次设于定位槽内；样品定位板上设有样品固定孔、第三紧固孔；样品固定孔设于对应的上掩膜开孔下方，且设于对应的定位槽的上方；第三紧固孔与上掩膜板上对应的第一紧固孔和下掩膜板上对应的第二紧固孔同轴设置。本实用新型能实现所有样品的上下两个需镀膜表面分别与上掩膜开孔边缘和掩膜片上第二通孔的边缘紧贴，以防止气相沉积过程中沉积粒子进入不需要镀膜的遮掩部分，从而提高镀膜产品的品质。

主权项

一种用于气相双面沉积镀膜的掩膜夹具，其特征在于：包括从上至下顺次设置的上掩膜板、样品定位板和下掩膜板；所述上掩膜板上设有上掩膜开孔、第一紧固孔；所述下掩膜板上设有下掩膜开孔、定位槽、弹性片、掩膜片和第二紧固孔；所述下掩膜开孔与定位槽连通，位于定位槽的下方，且与定位槽同轴设置；所述弹性片和掩膜片从下至上顺次设于定位槽内，二者的外侧壁紧贴定位槽的内侧壁；所述样品定位板上设有样品固定孔、第三紧固孔；所述样品固定孔设于上掩膜板上对应的上掩膜开孔下方，同时位于下掩膜板上对应的定位槽的上方，三者同轴设置，所述样品固定孔的横截面尺寸大于对应上掩膜开孔的横截面尺寸，且小于对应下掩膜上定位槽的横截面尺寸；所述第三紧固孔与上掩膜板上对应的第一紧固孔和下掩膜板上对应的第二紧固孔同轴设置，且三者的横截面尺寸相同。