[实用新型]一种基于压电致动器的喷射设备

摘要

本实用新型涉及一种基于压电致动器的喷射设备，其解决了现有接触式点胶和非接触式喷胶技术分配速度慢、分配精度低、一致性差、胶滴体积大、工作频率低技术问题，其包括支撑框架、工控机、控制柜、三轴工作平台和压电陶瓷致动器驱动的喷射式点胶装置，支撑框架分为三层，工控机连接在支撑框架的第三层，控制柜连接在支撑框架的第二层，三轴工作平台连接在支撑框架的第一层；工控机用于控制三轴工作平台和控制柜动作。本实用新型可用于微电子技术领域的点胶作业。

主权项

一种基于压电致动器的喷射设备，其特征在于，包括支撑框架、工控机、控制柜、三轴工作平台和压电陶瓷致动器驱动的喷射式点胶装置，所述支撑框架分为三层，所述工控机连接在支撑框架的第三层，控制柜连接在支撑框架的第二层，三轴工作平台连接在支撑框架的第一层；工控机用于控制三轴工作平台和控制柜动作；所述三轴工作平台由X轴线性模组、Y轴线性模组和Z轴线性模组组成，X轴线性模组通过垂直支架与支撑框架连接，X轴线性模组上设有X轴方向滑台，Z轴线性模组与X轴方向滑台连接；Y轴线性模组与支撑框架连接，Y轴线性模组位于X轴线性模组的下方，Y轴线性模组上设有Y轴方向滑台，Z轴线性模组设有Z轴方向滑台，压电陶瓷致动器驱动的喷射式点胶装置与Z轴方向滑台连接；所述X轴线性模组设有X轴伺服电机，Y轴线性模组设有Y轴伺服电机，Z轴线性模组设有Z轴伺服电机；所述控制柜包括基板，所述基板正面连接有开关电源、信号发生器、功率放大器、电磁阀、电气比例阀、继电器、空气开关、X轴伺服电机驱动器、Y轴伺服电机驱动器和Z轴伺服电机驱动器，基板背面连接有空气过滤器；所述开关电源与空气开关连接，所述X轴伺服电机驱动器、Y轴伺服电机驱动器和Z轴伺服电机驱动器的电源输入端分别与空气开关连接，继电器与开关电源连接，信号发生器、功率放大器、电磁阀和电气比例阀的电源输入端分别与继电器连接，所述功率放大器与信号发生器的信号输出端连接，所述功率放大器的信号输出端与压电陶瓷致动器驱动的喷射式点胶装置的压电陶瓷致动器连接，所述信号发生器的信号输入端与工控机连接；电气比例阀与空气过滤器连接，电磁阀与电气比例阀连接；工控机连接有PCI接口板卡一和PCI接口板卡二，X轴伺服电机驱动器、Y轴伺服电机驱动器分别和PCI接口板卡一连接，Z轴伺服电机驱动器与PCI接口板卡二连接，X轴伺服电机与X轴伺服电机驱动器连接，Y轴伺服电机与Y轴伺服电机驱动器连接，Z轴伺服电机与Z轴伺服电机驱动器连接。