[实用新型]一种钙钛矿薄膜涂布设备有效
申请号: | 201720629818.9 | 申请日: | 2017-06-02 |
公开(公告)号: | CN207103057U | 公开(公告)日: | 2018-03-16 |
发明(设计)人: | 不公告发明人 | 申请(专利权)人: | 杭州纤纳光电科技有限公司 |
主分类号: | B05C9/06 | 分类号: | B05C9/06;B05C5/02;B05C13/02;B05D3/04;B05D3/06;H01L51/48 |
代理公司: | 浙江一墨律师事务所33252 | 代理人: | 陈红珊,杨馨雨 |
地址: | 311121 浙江省杭州市余杭区*** | 国省代码: | 浙江;33 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型涉及一种钙钛矿薄膜涂布设备,包括输送基片的传送装置、钙钛矿溶液涂布装置、反溶剂喷涂装置以及风干装置或加热干燥装置,钙钛矿溶液涂布装置设置有钙钛矿涂布头,反溶剂喷涂装置设置有反溶剂喷涂嘴。基片经过传送装置带动依次经过钙钛矿溶液涂布装置、反溶剂喷涂装置和风干装置或加热干燥装置,出风口的风将基片表面上的钙钛矿溶液和反溶剂同时挥发干燥并形成钙钛矿薄膜。本实用新型对喷涂或涂布有钙钛矿溶液的基片进行风吹或红外线加热干燥,在保证低生产成本的同时,提高成膜质量,适合进行基片的钙钛矿薄膜大面积规模化生产。 | ||
搜索关键词: | 一种 钙钛矿 薄膜 布设 | ||
【主权项】:
一种钙钛矿薄膜涂布设备,其特征在于,包括输送基片的传送装置、钙钛矿溶液涂布装置、反溶剂喷涂装置以及风干装置或加热干燥装置,所述基片预先制备了底电极层,所述传送装置设置有传送带或传送轴,所述钙钛矿溶液涂布装置设置有涂布头,所述涂布头为钙钛矿涂布头,所述反溶剂喷涂装置设置有喷涂嘴,所述喷涂嘴为反溶剂喷涂嘴,所述风干装置设置有出风口,所述加热干燥装置设置有红外线加热器,基片放置在所述传送带或传送轴上由其带动依次经过钙钛矿溶液涂布装置、反溶剂喷涂装置和风干装置或加热干燥装置,所述钙钛矿涂布头将钙钛矿溶液涂布在基片表面上,所述反溶剂喷涂嘴将反溶剂喷涂在基片表面上,所述出风口的风将基片表面上的钙钛矿溶液和反溶剂同时挥发干燥并形成钙钛矿薄膜,所述加热干燥装置的红外线加热器分别从基片上下两侧同时对其加热将其表面上的钙钛矿溶液和反溶剂一起蒸发干燥并形成钙钛矿薄膜。
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B05 一般喷射或雾化;对表面涂覆液体或其他流体的一般方法
B05C 一般对表面涂布液体或其他流体的装置
B05C9-00 把液体或其他流体涂于表面的装置或设备,所采用的方法未包含在B05C 1/00至B05C 7/00组,或表面涂布液体或其他流体的方法不是重要的
B05C9-02 .对表面涂布液体或其他流体采用B05C 1/00至B05C 7/00中未包含的一个方法,不论是否还使用其他的方法
B05C9-04 .对工件的相对面涂布液体或其他流体
B05C9-06 .对工件的同一个面要求涂布两种不同的液体或其他流体,或者用同一种液体或其他流体涂布二次
B05C9-08 .涂布液体或其他流体并完成辅助操作
B05C9-10 ..在涂布之前完成辅助操作
B05C 一般对表面涂布液体或其他流体的装置
B05C9-00 把液体或其他流体涂于表面的装置或设备,所采用的方法未包含在B05C 1/00至B05C 7/00组,或表面涂布液体或其他流体的方法不是重要的
B05C9-02 .对表面涂布液体或其他流体采用B05C 1/00至B05C 7/00中未包含的一个方法,不论是否还使用其他的方法
B05C9-04 .对工件的相对面涂布液体或其他流体
B05C9-06 .对工件的同一个面要求涂布两种不同的液体或其他流体,或者用同一种液体或其他流体涂布二次
B05C9-08 .涂布液体或其他流体并完成辅助操作
B05C9-10 ..在涂布之前完成辅助操作