[实用新型]一种基于曲面基准件的二维位移测量系统有效
| 申请号: | 201720627793.9 | 申请日: | 2017-05-31 |
| 公开(公告)号: | CN207163406U | 公开(公告)日: | 2018-03-30 |
| 发明(设计)人: | 李杏华;邢艳蕾;房丰洲;黄银国 | 申请(专利权)人: | 天津大学 |
| 主分类号: | G01B11/02 | 分类号: | G01B11/02 |
| 代理公司: | 天津市北洋有限责任专利代理事务所12201 | 代理人: | 张金亭 |
| 地址: | 300072 天*** | 国省代码: | 天津;12 |
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| 摘要: | 本实用新型公开了一种基于曲面基准件的二维位移测量系统,包括光学测头和曲面基准件,在曲面基准件上设有曲面阵列;光学测头包括激光器、孔径光阑、反射镜、分光棱镜、成像透镜、CCD相机以及数据处理模块,激光器发出的准直光束经孔径光阑缩成细直光束,细直光束经反射镜后入射到分光棱镜中,1/2能量的反射光束投射到曲面阵列上的任意一点,该点反射的光束经分光棱镜透射后,通过成像透镜成像在CCD相机上,数据处理模块根据CCD相机中光斑的位置,计算获得运动部件的二维位移。采用本实用新型一次测量可以同时获得运动部件两个方向的位移,效率高,精度高,体积小,便于携带,成本低,操作简单。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 基于 曲面 基准 二维 位移 测量 系统 | ||
【主权项】:
一种基于曲面基准件的二维位移测量系统,其特征在于,包括安装在运动部件上的光学测头和卡固在平台上的曲面基准件,运动部件沿Z轴设置,平台与Z轴垂直,在所述曲面基准件上设有曲面阵列,运动部件位于所述曲面基准件的上方;所述光学测头包括激光器、孔径光阑、反射镜、分光棱镜、成像透镜、CCD相机以及数据处理模块,所述激光器发出的准直光束经所述孔径光阑缩成细直光束,细直光束经所述反射镜后入射到所述分光棱镜中,1/2能量的反射光束投射到曲面阵列上的任意一点,该点反射的光束经所述分光棱镜透射后,通过所述成像透镜成像在所述CCD相机上,所述数据处理模块根据所述CCD相机中光斑的位置,计算获得运动部件的二维位移。
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