[实用新型]一种基于氧化硅矩形光波导的集成光收发模块有效
| 申请号： | 201720624380.5 | 申请日： | 2017-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN206712795U | 公开（公告）日： | 2017-12-05 |
| 发明（设计）人： | 刘柳;周旋;时尧成 | 申请（专利权）人： | 绍兴柯芯光电技术有限公司;浙江大学;华南师范大学 |
| 主分类号： | H04B10/40 | 分类号： | H04B10/40;H04B10/25;H04Q11/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 312000 浙江省绍兴市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种基于氧化硅矩形光波导的集成光收发模块，包括至少一个具有四个45°抛光内端面的矩形氧化硅光波导、至少一个垂直腔面激光器和至少一个光子探测器，其制备方法为利用45°刀头将矩形波导切割成三段，由划片机在芯片上切割出四个45°内端面；采用真空电子束热蒸发等对应工艺镀上布拉格反射膜、金属膜以及金属导线和焊点；再用折射率匹配胶将切割镀膜后的矩形波导粘合，同时在内端面狭缝上方一定区域涂上匹配胶；最后通过倒装焊接的方法，将垂直腔面激光器和光子探测器分别与对应的金属电极焊接，集成于内端面狭缝之上，本实用新型低成本，高速率，可实现多通道传输数据。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 氧化 矩形 波导 集成 收发 模块 | ||
【主权项】：
一种基于氧化硅矩形光波导的集成光收发模块，其特征在于:包括至少一个具有四个45°抛光内端面的矩形氧化硅光波导、至少一个垂直腔面激光器和至少一个光子探测器。
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