[实用新型]基于利用光学技术扫描透明板材表面污染的系统

摘要

本实用新型公开了一种基于利用光学技术扫描透明板材表面污染的系统以及一种可供检测一板材的系统，其中，该透明板材具有相对平行的一受测的第一表面及一未受测的第二表面，其包含有一能发出光线的光源、一供接收光线的影像传感器及一遮蔽光线的光栅，该光源与该影像传感器等角分设于受测的第一表面的界面法线的两侧，光栅设于光源及影像传感器与透明板材间，该光栅上形成有位于界面法线两侧等角的入射通道与反射通道，藉此，利用光栅的设计，使透明板材所反射的反射光线中只有受测第一表面的一次反射光线能被影像传感器接收成像，有效的滤除了非受测表面的二次反射光线或二次以上的反射光线，不致使上、下表面的影像相互干扰。

主权项

一种基于利用光学技术扫描透明板材表面污染的系统，该系统用于检测一透明板材的表面污染，其特征在于，该透明板材具有相对平行的一受测的第一表面及一未受测的第二表面，该系统包含有一能发出光线的光源、一供接收光线的影像传感器及一供遮蔽光线的光栅，且透明板材能够与光源、影像传感器及光栅相对运动；其中光源与影像传感器设于对应该透明板材中受测第一表面的一侧，该光源与该影像传感器等角分设于第一表面的界面法线的两侧；该光栅设于光源及影像传感器与透明板材之间，且该光栅于相对界面法线一侧具有一对应光源的入射通道，令该光源能经入射通道产生一射向透明板材第一表面的入射光线，又该光栅异于界面法线另一侧具有一反射通道，该反射通道供前述入射光线经透明板材的受测第一表面反射后形成的一次反射光线穿过，该一次反射光线供与光源等角设置的影像传感器接收，且反射通道的宽度介于界面法线与经该透明板材的未受测第二表面反射的二次反射光线之间且不超过该二次反射光线。