[实用新型]一种用于注入机中部件的上机装置有效
申请号: | 201720610339.2 | 申请日: | 2017-05-27 |
公开(公告)号: | CN206998722U | 公开(公告)日: | 2018-02-13 |
发明(设计)人: | 李磊 | 申请(专利权)人: | 昆山国显光电有限公司 |
主分类号: | B25B11/02 | 分类号: | B25B11/02 |
代理公司: | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司11250 | 代理人: | 马永芬 |
地址: | 215300 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开一种用于注入机中部件的上机装置,包括基座,沿第一方向滑动设置在基座上的第一滑动机构;沿与第一方向相交的第二方向滑动设置在第一滑动机构上的第二滑动机构;用于标记预拆卸部件在注入机上的初始安装位置的位置标记部件;固定在所述第二滑动机构上的固定件。在部件拆卸前,通过位置标记部件标记预拆卸部件在注入机上的初始安装位置,待注入机保养和检修完后,再通过两个滑动机构调整固定件的位置,进而改变安装在固定件上的预拆卸部件的位置,使得该部件处于起始的安装位置,精确地定位该部件的安装位置,缩短注入机保养和维修的时间,便于部件的拆卸和安装,不会影响离子注入机的工艺性能。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 注入 部件 上机 装置 | ||
【主权项】:
一种用于注入机中部件的上机装置,其特征在于,包括基座(1);第一滑动机构(4),沿第一方向滑动设置在所述基座(1)上;第二滑动机构(5),沿与所述第一方向相交的第二方向滑动设置在所述第一滑动机构(4)上;固定件(2),固定在所述第二滑动机构上;位置标记部件(3),用于标记预拆卸部件在所述注入机上的初始安装位置。
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