[实用新型]量程可调式原位微纳米压痕/划痕测试装置有效
| 申请号： | 201720608349.2 | 申请日： | 2017-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN206725476U | 公开（公告）日： | 2017-12-08 |
| 发明（设计）人： | 赵宏伟;赵丹;王云艺;谢英杰;吴迪;薛博然;白元元;苗淼;周明星;李瑞 | 申请（专利权）人： | 吉林大学 |
| 主分类号： | G01N23/225 | 分类号： | G01N23/225;G01N3/42;G01N3/46 |
| 代理公司： | 吉林长春新纪元专利代理有限责任公司22100 | 代理人： | 王怡敏 |
| 地址： | 130000 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种量程可调式原位微纳米压痕/划痕测试装置，属于机电一体化精密科学仪器领域。X、Y轴精密划痕单元通过Z轴宏动调整机构安装在压痕杠杆支点底座上，Z轴宏动调整机构与压痕量程调节单元安装在压痕杠杆支点底座上，精密压入驱动单元与位移信号检测单元安装在底座上，载荷信号检测单元安装在X、Y轴精密划痕单元上。优点在于结构紧凑、小型化、一体化、大行程，克服现有技术无法调节量程及实现较大行程的同时，更好的保证装配精度，有效提升整体的刚度和动态特性，提升了整体的测试精度；装置与扫描电子显微镜具有良好的兼容性，可实现在动态原位压痕/划痕测试作用下，对材料微观组织结构与变形损伤机制的相关性研究。 | ||
| 搜索关键词： | 量程 调式 原位 纳米 压痕 划痕 测试 装置 | ||
【主权项】：
一种量程可调式原位微纳米压痕/划痕测试装置，其特征在于：包括X、Y轴精密划痕单元、Z轴宏动调整机构、精密压入驱动单元、压痕量程调节单元、位移信号检测单元与载荷信号检测单元；其中，X、Y轴精密划痕单元通过Z轴宏动调整机构安装在压痕杠杆支点底座（19）上，Z轴宏动调整机构与压痕量程调节单元安装在压痕杠杆支点底座（19）上，精密压入驱动单元与位移信号检测单元安装在底座（20）上，载荷信号检测单元安装在X、Y轴精密划痕单元上。
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