[实用新型]一种测试硅片碳氧含量的夹具有效
| 申请号： | 201720588124.5 | 申请日： | 2017-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN206920312U | 公开（公告）日： | 2018-01-23 |
| 发明（设计）人： | 李琰琪;李硕;侯玉;万松博;王栩生;涂修文;邢国强 | 申请（专利权）人： | 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/01 | 分类号： | G01N21/01 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司11332 | 代理人： | 胡彬 |
| 地址： | 215129 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种测试硅片碳氧含量的夹具，其包括底板，底板上设置有用于吸附硅片的吸真空背板，吸真空背板设置有用于光线透过的透光区，吸真空背板能够绕竖直方向相对底板转动，以调节光线与硅片之间的角度。本实用新型的测试硅片碳氧含量的夹具，其吸真空背板能够沿竖直方向相对底板转动，以调节光线与硅片之间的角度，使得光线与硅片倾斜设置，从而增加了光线在硅片中的实际路程，相当于增加了硅片的厚度。本实用新型的测试硅片碳氧含量的夹具不仅结构简单，而且解决了现有技术不能测试正常厚度的硅片的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 测试 硅片 含量 夹具 | ||
【主权项】：
一种测试硅片碳氧含量的夹具，包括底板，其特征在于，所述底板上设置有用于吸附硅片的吸真空背板，所述吸真空背板设置有用于光线透过的透光区，所述吸真空背板能够绕竖直方向相对所述底板转动，以调节所述光线与所述硅片之间的角度。
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