[实用新型]硅棒多工位加工机有效
| 申请号： | 201720567511.0 | 申请日： | 2017-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN207058288U | 公开（公告）日： | 2018-03-02 |
| 发明（设计）人： | 卢建伟;李鑫 | 申请（专利权）人： | 上海日进机床有限公司 |
| 主分类号： | B24B27/00 | 分类号： | B24B27/00;B24B41/00;B24B41/06;B24B49/02 |
| 代理公司： | 上海巅石知识产权代理事务所(普通合伙)31309 | 代理人： | 张明,王再朝 |
| 地址： | 201601 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本申请公开一种硅棒多工位加工机，包括机座，具有硅棒加工平台，具有多个功能区位；硅棒转换装置，用于将硅棒在多个功能区位之间转换；中央安装架，设置于硅棒转换装置的中央部位，包括多组安装柱以及用于连接多组安装柱顶部的顶板；多个硅棒定位机构，每一个硅棒定位机构包括旋转承载台，设置于硅棒转换装置上用于承载竖立放置的硅棒，并在硅棒转换装置转动时一并转动；旋转压紧装置，可升降地设置于一组安装柱上，并与旋转承载台相对应，用于压紧竖立放置在旋转承载台上的硅棒。利用硅棒定位机构既可以对待加工的硅棒进行定位又可以对晶棒进行旋转，以供硅棒转换装置将硅棒在多个功能区位之间转换并在相应功能区位上进行相应的加工作业。 | ||
| 搜索关键词： | 硅棒多工位 加工 | ||
【主权项】：
一种硅棒多工位加工机，其特征在于，包括：机座，具有硅棒加工平台，具有多个功能区位；硅棒转换装置，旋转设置于所述硅棒加工平台上，用于将所述硅棒在所述多个功能区位之间转换；中央安装架，设置于所述硅棒转换装置的中央部位，并在所述硅棒转换装置转动时一并转动，包括多组安装柱以及用于连接所述多组安装柱顶部的顶板；多个硅棒定位机构，其中，每一个硅棒定位机构包括：旋转承载台，设置于所述硅棒转换装置上用于承载竖立放置的硅棒，并在所述硅棒转换装置转动时一并转动；旋转压紧装置，可升降地设置于一组安装柱上，并与所述旋转承载台相对应，用于压紧竖立放置在所述旋转承载台上的硅棒。
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