[实用新型]一种等离子体镀膜装置

摘要

本实用新型涉及等离子镀膜技术领域，特别涉及一种等离子体镀膜装置，包括壳体，壳体内腔设置有加热套和电极基板，加热套、电极基板和壳体内腔的端面围设有加热腔体，加热丝两端分别与入口导流板和出口导流板相固定连接；加热腔体连接有载流气体进气管和载流气体出气管；壳体内腔的下端面对称设置有两个隔板，隔板沿高度方向设置有若干个对流槽；壳体的内腔侧壁对称设置有两个固定座，壳体内腔的上端面固定设置有两个与固定座相匹配的进气管。本装置既保证了基板表面薄膜的品质；又保证包覆在基板表面的薄膜的均匀性。

主权项

一种等离子体镀膜装置，包括壳体(1)，其特征在于：所述壳体(1)内腔的上、下端面对称设置有加热套(5)，所述加热套(5)一端均固定连接有电极基板(11)，加热套(5)、电极基板(11)和壳体(1)内腔的端面围设有加热腔体(12)，两个电极基板(11)呈对称设置；所述加热腔体(12)内设置有入口导流板(7)、加热丝(8)和出口导流板(9)，加热丝(8)两端分别与入口导流板(7)和出口导流板(9)相固定连接；它还包括有载流气体进气管(6)和载流气体出气管(10)，所述载流气体进气管(6)一端设置在壳体(1)外部，所述载流气体进气管(6)另一端伸入加热腔体(12)后与入口导流板(7)相连接；载流气体出气管(10)一端设置在壳体(1)内腔部，载流气体出气管(10)另一端伸入加热腔体(12)后与出口导流板(9)相连接；壳体(1)内腔的下端面对称设置有两个隔板(4)，电极基板(11)位于两个隔板(4)之间；所述隔板(4)沿高度方向设置有若干个对流槽(4‑1)；壳体(1)的内腔侧壁对称设置有两个固定座(3)，壳体(1)内腔的上端面固定设置有两个与固定座(3)相匹配的进气管(2)，进气管(2)一端设置在壳体(1)外部，进气管(2)另一端设置在壳体(1)内部。