[实用新型]三指交错结构的电容式微波功率传感器

摘要

本实用新型公开了一种三指交错结构的电容式微波功率传感器，以砷化镓为衬底，在衬底上设计有共面波导传输线、在线电容式微波功率传感器，在线电容式微波功率传感器包括在衬底上交错地固定着三个MEMS悬臂梁，其中两个MEMS悬臂梁下表面镀有绝缘层氮化硅，中间的MEMS悬臂梁无绝缘层，作为由两个无绝缘层MEMS悬臂梁形成电容的电介质。当微波信号在共面波导传输时，会在无绝缘层的MEMS悬臂梁上产生一个静电力使梁产生位移，而在两个镀有绝缘层的MEMS悬臂梁上产生的静电力不足以使其下拉；引起两个镀有绝缘层的MEMS悬臂梁间形成的电容的介电常数改变，由电容检测电路检测出电容的变化量，从而推出微波信号的功率幅值。

主权项

三指交错结构的电容式微波功率传感器，其特征在于，该传感器以砷化镓为衬底，在衬底上设有共面波导CPW传输线、在线电容式微波功率传感器；所述共面波导CPW传输线包括CPW信号线以及设置在信号线两侧的第一地线和第二地线；所述在线电容式微波功率传感器由三个交错固定在衬底上的MEMS悬臂梁构成，其中，第一MEMS悬臂梁设置在CPW信号线和第一地线之间，第二、第三MEMS悬臂梁设置在CPW信号线和第二地线之间，第二、第一、第三MEMS悬臂梁依次成三指交错状排列分布；第二、第三MEMS悬臂梁的下表面分别镀有绝缘层，形成一个电容，第一MEMS悬臂梁的下表面未镀有绝缘层，作为该电容的电介质；从第二、第三MEMS悬臂梁分别引出两个电极，作为电容检测端口。