[实用新型]二维动态光电自准直仪

摘要

本实用新型公开了一种二维动态光电自准直仪，包括用于固定激光光源和聚焦透镜的激光器套筒、反射镜及其安装座、固定准直物镜的物镜筒、固定分光片和位置敏感探测器（PSD）的后底座。聚焦透镜和准直物镜的焦点重合以组成准直扩束系统，激光光源发出的平行光束依次经过聚焦透镜、反射镜、分光片和准直物镜，再由标准反射镜反射后再次经过准直物镜和分光片，最后聚焦在PSD的光敏面上。通过测量光斑在PSD上的位移量可以得到标准反射镜的二维角度变化。本实用新型采用半导体激光器作为光源，功率稳定，散热量小，寿命长。采用PSD作为光电探测器，分辨力高，动态响应特性好。本实用新型成本低、结构紧凑，测量范围大，能进行静、动态二维角度精密测量，可广泛应用于工业生产中的加工检测、角度计量器具的检定和高频角振动的检测。

主权项

1.二维动态光电自准直仪，其特征在于，包括固定激光光源(1)和聚焦透镜(2)的激光器套筒(8)安装在反射镜安装座(9)的前端，反射镜安装座(9)通过压片(11)安装在前底座(16)的顶部，反射镜(3)固定在反射镜安装座(9)中，分光片4安装在后底座(17)中，准直物镜(6)安装在物镜安装座(13)中，物镜安装座(13)安装在物镜筒(14)的前端，物镜筒(14)通过压圈(15)固定于前底座(16)的前端，前底座(16)与后底座(17)通过螺钉紧固连接。工作时，从标准反射镜(7)反射回来的光束通过准直物镜(6)和分光片(4)后，聚焦在位置敏感探测器PSD(5)的光敏面上。