[实用新型]一种四质量块耦合微机电陀螺仪

摘要

本实用新型公开了一种四质量块耦合微机电陀螺仪，涉及微机陀螺仪领域。一种四质量块耦合微机电陀螺仪，包括四个质量块，每个质量块被划分为完全对称的四个单元；每一个质量块主要由驱动框架（19）和检测框架（20）构成，四个驱动框架（19）通过驱动耦合弹簧（21）互连，相邻两个检测框架（20）通过检测耦合弹簧（3）互连，每对驱动框架（19）和检测框架（20）之间通过驱动弹簧（7）互连。本实用新型提供一种四质量块耦合微机电陀螺仪，实现驱动和检测质量同时耦合的结构以克服驱动电压较高的缺点，从而改善传感器对于电路部分的性能要求。

主权项

一种四质量块耦合微机电陀螺仪，包括四个质量块，其特征在于：每个质量块被划分为完全对称的四个单元；每一个质量块主要由驱动框架（19）和检测框架（20）构成，四个驱动框架（19）通过驱动耦合弹簧（21）互连，上排的两个相邻检测框架（20）通过检测耦合弹簧（3）互连下排的两个相邻检测框架连接关系与上排相同，每对驱动框架（19）和检测框架（20）之间通过驱动弹簧（7）互连。