[实用新型]一种降低晶片背印的超声波装置有效
| 申请号： | 201720472668.5 | 申请日： | 2017-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN207057161U | 公开（公告）日： | 2018-03-02 |
| 发明（设计）人： | 楚玉环 | 申请（专利权）人： | 青岛鑫嘉星电子科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12;B08B3/02;H01L21/67 |
| 代理公司： | 青岛发思特专利商标代理有限公司37212 | 代理人： | 巩同海 |
| 地址： | 266114 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种降低晶片背印的超声波装置，属于晶片冲洗技术领域。本实用新型包括不锈钢槽体，槽体内壁有亚克力板，所述亚克力板呈镂空结构，所述槽体的底部设置有超声振板，槽体中还安装有晶片固定装置，所述的晶片固定装置包括载台、提篮和花篮，所述载台为矩形框架结构，所述边框采用向下的台阶结构，所述提篮为角钢组成的边框结构，所述提篮置于载台的台阶上，所述花篮置于提篮的边框上。与现有技术相比，本实用新型使得槽体的冲洗液均匀的作用于晶片表面，退火后产生背印少，提升晶片良率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 降低 晶片 超声波 装置 | ||
【主权项】：
一种降低晶片背印的超声波装置，其特征在于：包括不锈钢槽体(1)，槽体(1)内壁有亚克力板(2)，所述亚克力板(2)呈镂空结构，所述槽体(1)的底部设置有超声振板(3)，槽体(1)中还安装有晶片固定装置(4)，所述的晶片固定装置(4)包括载台(6)、提篮(5)和花篮(7)，所述载台(6)为矩形框架结构，所述矩形框架的边框采用向下的台阶结构，所述提篮(5)为角钢组成的边框结构，所述提篮(5)置于载台(6)的台阶上，所述花篮(7)置于提篮(5)的边框上。
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