[实用新型]一种高洁净度石英晶片清洗载具有效
| 申请号： | 201720467186.0 | 申请日： | 2017-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN206911840U | 公开（公告）日： | 2018-01-23 |
| 发明（设计）人： | 王富春 | 申请（专利权）人： | 东晶锐康晶体（成都）有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12;B08B13/00 |
| 代理公司： | 成都金英专利代理事务所(普通合伙)51218 | 代理人： | 袁英 |
| 地址： | 610041 四川省*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种高洁净度石英晶片清洗载具，它包括基板（1）和盖板（2），基板（1）的顶表面设置有磁片（3），基板（1）顶表面上还开设有连通其上下表面的通槽（4），通槽（4）呈阵列分布于基板（1）上，通槽（4）内且位于通槽（4）的四个边上均固设有触针（5），盖板（2）放置于基板（1）顶表面且经磁片（3）吸附于基板（1）上，盖板（2）位于通槽（4）上方。本实用新型的有益效果是结构紧凑、彻底清洗石英晶片表面上颗粒杂质及粘附尘埃、提高镀膜质量、操作简单。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 洁净 石英 晶片 清洗 | ||
【主权项】：
一种高洁净度石英晶片清洗载具，其特征在于：它包括基板（1）和盖板（2），所述的基板（1）的顶表面设置有磁片（3），基板（1）顶表面上还开设有连通其上下表面的通槽（4），通槽（4）呈阵列分布于基板（1）上，通槽（4）内且位于通槽（4）的四个边上均固设有触针（5），所述的盖板（2）放置于基板（1）顶表面且经磁片（3）吸附于基板（1）上，盖板（2）位于通槽（4）上方。
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