[实用新型]PVD工艺用制程保护膜

摘要

本实用新型公开一种PVD工艺用制程保护膜，包括上PET膜、中间PET膜和下PET膜；所述下PET膜的厚度大于中间PET膜的厚度，中间PET膜的厚度大于上PET膜的厚度，第三耐高温胶黏层的厚度大于第二耐高温胶黏层的厚度，所述第二耐高温胶黏层的厚度大于第一耐高温胶黏层的厚度；所述上PET膜、中间PET膜和下PET膜上分别开有第一通孔、第二通孔和第三通孔，此上PET膜的第一通孔、中间PET膜的第二通孔和下PET膜的第三通孔各自的直径相同，且位置在膜面方向重叠。本实用新型遮盖膜采用多层结构作为玻璃盖板PVD镀膜时候的遮盖膜，在遮盖膜的上表面增加牺牲层，有效避免了与玻璃盖板接触的下PET膜起皱现象，从而消除了Mark印和残胶。

主权项

一种PVD工艺用制程保护膜，玻璃盖板（1）表面部分区域覆盖有油墨层（2），其特征在于：遮盖膜（3）包括上PET膜（4）、中间PET膜（5）和下PET膜（6），所述上PET膜（4）和中间PET膜（5）之间具有第一耐高温胶黏层（7），所述中间PET膜（5）和下PET膜（6）之间具有第二耐高温胶黏层（8），用于与玻璃盖板（1）通过第三耐高温胶黏层（10）贴合的所述下PET膜（6）与一离型膜（9）之间设置有第三耐高温胶黏层（10）；所述下PET膜（6）的厚度大于中间PET膜（5）的厚度，所述中间PET膜（5）的厚度大于上PET膜（4）的厚度，所述第三耐高温胶黏层（10）的厚度大于第二耐高温胶黏层（8）的厚度，所述第二耐高温胶黏层（8）的厚度大于第一耐高温胶黏层（7）的厚度；所述上PET膜（4）、中间PET膜（5）和下PET膜（6）上分别开有第一通孔（401）、第二通孔（501）和第三通孔（601），此上PET膜的第一通孔、中间PET膜的第二通孔和下PET膜的第三通孔各自的直径相同，且位置在膜面方向重叠。