[实用新型]压力敏感层、压阻式压力传感器及压阻式压力传感阵列有效
申请号: | 201720424963.3 | 申请日: | 2017-04-21 |
公开(公告)号: | CN206740283U | 公开(公告)日: | 2017-12-12 |
发明(设计)人: | 张旻;王旭东;刘易鑫;梁家铭;吴一川;王晓浩 | 申请(专利权)人: | 清华大学深圳研究生院 |
主分类号: | G01L1/22 | 分类号: | G01L1/22;G01L9/04 |
代理公司: | 深圳新创友知识产权代理有限公司44223 | 代理人: | 刘莉 |
地址: | 518055 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种压力敏感层及、压阻式压力传感器及压阻式压力传感阵列,该压力敏感层包括石墨烯材料和聚合物弹性体;所述石墨烯材料是疏松多孔的且具有微结构阵列,所述聚合物弹性体包覆在所述石墨烯材料外且渗入所述石墨烯材料的各个孔中。该压阻式压力传感器包括相互键合的第一电极板和第二电极板和至少一层置于所述第一电极板和所述第二电极板之间的压力敏感层;所述微结构阵列中的微结构与所述第一电极板和/或所述第二电极板中的电极接触。本实用新型的该压阻式压力传感器能将外界压力大小转化为传感器的电阻值,从而利用电信号的变化来感知外界压力的变化,具有灵敏度高、成本低、高柔韧性、易加工、易于阵列化与微型化等优点。 | ||
搜索关键词: | 压力 敏感 压阻式 压力传感器 传感 阵列 | ||
【主权项】:
一种用于压阻式压力传感器的压力敏感层,其特征在于,所述压力敏感层包括石墨烯材料和聚合物弹性体;所述石墨烯材料是疏松多孔的且具有微结构阵列,所述聚合物弹性体包覆在所述石墨烯材料外且渗入所述石墨烯材料的各个孔中。
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