[实用新型]用于光电零部件的交替振荡兆声波清洗仪有效
| 申请号： | 201720369998.1 | 申请日： | 2017-04-11 |
| 公开（公告）号： | CN206854240U | 公开（公告）日： | 2018-01-09 |
| 发明（设计）人： | 范银波 | 申请（专利权）人： | 安徽高芯众科半导体有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12;B08B3/10 |
| 代理公司： | 苏州市方略专利代理事务所(普通合伙)32267 | 代理人： | 马广旭 |
| 地址： | 247099 安徽省池州市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了用于光电零部件的交替振荡兆声波清洗仪，包括机架、清洗槽、超声波发生器、主换能器、辅换能器、计时器、电源控制模块，清洗槽安装于机架，超声波发生器、计时器安装于机架一侧并和电源控制模块连接，超声波发生器连接主换能器、辅换能器，所述主换能器、辅换能器设置于清洗槽外壁，主换能器的工作频率为1200kHz；所述清洗仪还包括排水装置，排水装置包括位于清洗槽底部的电磁阀、排水口和排水管，所述电磁阀由电源控制模块控制其启闭。本实用新型简单易操作，兆声波和中低频超声波按照交替启闭组合操作，最佳状态下能使60nm的微尘去除率达到99%以上，且使40nm，20nm的微尘去除率也得到显著提高。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 光电 零部件 交替 振荡 声波 清洗 | ||
【主权项】：
用于光电零部件的交替振荡兆声波清洗仪，其特征在于，包括机架、清洗槽、超声波发生器、主换能器、辅换能器、计时器、电源控制模块，若干所述清洗槽安装于机架内，所述超声波发生器、计时器安装于机架一侧且均和电源控制模块连接，超声波发生器连接主换能器、辅换能器，所述主换能器、辅换能器设置于清洗槽外壁，主换能器的工作频率为1200kHz；所述清洗仪还包括排水装置，排水装置包括位于清洗槽底部的电磁阀、排水口和排水管，所述电磁阀由电源控制模块控制其启闭。
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