[实用新型]一种持续均匀进料的真空蒸镀源

摘要

本实用新型涉及了一种持续均匀进料的真空蒸镀源。一种持续均匀进料的真空蒸镀源，它包括蒸镀源本体；蒸镀源本体左侧固定加压气泵，右侧固定进料仓，底部设有源料加热圆板；源料加热圆板上分布有多个盛料碗，下设有环形加热管；源料加热圆板上设有铺料杆；蒸镀源本体的顶部设喷嘴；进料仓下连接有进料装置；进料装置包括管腔；管腔的左端插至蒸镀源本体的内部、中间设有从加料仓进料的进料口；管腔中设有送料杆；送料杆的左端设为螺杆旋转送料部、右端设为直杆推料部。本实用新型的一种持续均匀进料的真空蒸镀源，可持续均匀的进料，保证了气密性，防止空气进入管腔，最大限度利用加热管产生的热能，减少了能耗损失，降低成本。

主权项

一种持续均匀进料的真空蒸镀源，其特征在于：它包括蒸镀源本体；所述蒸镀源本体的左侧固定有与蒸镀源本体气路连接的加压气泵，右侧固定有进料仓；所述进料仓下连接有进料装置；所述蒸镀源本体的底部设置有源料加热圆板；所述源料加热圆板上呈圆形一圈一圈向外扩散式分布有多个盛料碗；相邻的两圈盛料碗之间设置有环形加热管；所述源料加热圆板上方还设置有铺料杆；所述铺料杆的中间与设置在蒸镀源本体下方的伺服电机连接；所述蒸镀源本体的顶部呈圆锥形并在尖端处设置喷嘴；所述进料装置包括管腔；管腔的左端插至蒸镀源本体的内部、中间设置有从加料仓进料的进料口；所述管腔中设置有送料杆；所述送料杆的左端设置为螺杆旋转送料部、右端设置为直杆推料部。