[实用新型]一种新型管道布置的多晶硅铸锭炉

摘要

本实用新型提供的一种新型管道布置的多晶硅铸锭炉，包括炉体、设置在炉体上方的保护气体进气管和设置在炉体侧方的抽气管，所述抽气管连接第一抽气泵，在抽气管和第一抽气泵之间上设置有第一阀门，所述炉体下方连接气冷循环换管道，所述气冷循环换管道外侧包覆冷却介质，气冷循环管道通过出气管连接第二抽气泵，出气管和第二抽气泵之间连接第二阀门。该多晶硅铸锭炉可以减少氧化物及杂质在铸锭炉内的富集，延长热场内零配件的使用寿命，设置的气冷循环管，可以对高温保护气体进行初步降温，以便进行循环利用。

主权项

一种新型管道布置的多晶硅铸锭炉，包括炉体（1）、设置在炉体（1）上方的保护气体进气管（2）和设置在炉体（1）侧方的抽气管（3），所述抽气管（3）连接第一抽气泵（4），在抽气管（3）和第一抽气泵（4）之间上设置有第一阀门（5），其特征在于：所述炉体（1）下方连接气冷循环管道（6），所述气冷循环管道（6）外侧包覆冷却介质（7），气冷循环管道（6）通过出气管（8）连接抽气管（3），出气管（8）与抽气管（3）的连接处位于第一阀门（5）和第一抽气泵（4）之间；或者气冷循环管道（6）同时连接出气管（8）和支气管（11），出气管（8）与抽气管（3）连接，出气管（8）与抽气管（3）的连接处位于第一阀门（5）和第一抽气泵（4）之间，支气管（11）连通炉体（1）内部。