[实用新型]真空电子枪镀膜机有效
| 申请号： | 201720296484.8 | 申请日： | 2017-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN206706194U | 公开（公告）日： | 2017-12-05 |
| 发明（设计）人： | 朱国朝;袁安素;沈学忠;温振伟 | 申请（专利权）人： | 纳狮新材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司11287 | 代理人： | 沈锦华 |
| 地址： | 314200 浙江省嘉兴市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型是关于真空电子枪镀膜机。本实用新型一实施例提供一真空电子枪镀膜机，其包括真空抽气系统、真空室、真空室门、设置在真空室中用于放置镀膜产品的工件转架以及设置在真空室中的电子束蒸发装置，其中电子束蒸发装置包含电子枪和装有镀膜材料的坩埚，其中真空电子枪镀膜机还包括设置于电子枪之上的纳米粉末导入装置。本实用新型实施例提供的真空电子枪镀膜机可制作具有高硬度、良好的耐磨损性能以及可包含多种其它性能的涂层。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 电子枪 镀膜 | ||
【主权项】：
一种真空电子枪镀膜机，其包括：真空抽气系统、真空室、真空室门、设置在真空室中用于放置镀膜产品的工件转架以及设置在真空室中的电子束蒸发装置，其中所述电子束蒸发装置包含电子枪和装有镀膜材料的坩埚，其特征在于，所述真空电子枪镀膜机还包括设置于所述电子枪之上的纳米粉末导入装置。
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