[实用新型]一种使用方便的刻蚀漏刻监测装置有效
| 申请号： | 201720288737.7 | 申请日： | 2017-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN206541802U | 公开（公告）日： | 2017-10-03 |
| 发明（设计）人： | 吴俊旻;常青;扈静;闫涛;李家栋 | 申请（专利权）人： | 通威太阳能（合肥）有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/66 | 分类号： | H01L21/66 |
| 代理公司： | 昆明合众智信知识产权事务所53113 | 代理人： | 张玺 |
| 地址： | 230088 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及太阳能电池板检测设备技术领域，尤其为一种使用方便的刻蚀漏刻监测装置，包括PVC垫板、四个支撑块；四个支撑块分别安装在PVC垫板底部的四个拐角处，PVC垫板上端面按两条对角线的方向开设有四个贯通槽；四个固定圆杆；每个固定圆杆的底端上均设有锁紧机构，其中部位于贯通槽内，并与贯通槽滑动连接，其还上端转动连接有调节圆杆；四个调节圆杆上均设有检测铜片，每个检测铜片的两端均连接两组导线，两组导线中的其中一组并联后接到万用表接口的正负极上，两组导线中的其中另一组两端接到PVC垫板侧面预留的检测柱上，并保持开路状态；万用表接口设在PVC垫板的一侧。本实用新型，操作简单，判定漏刻方便。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 使用方便 刻蚀 监测 装置 | ||
【主权项】：
一种使用方便的刻蚀漏刻监测装置，包括PVC垫板(1)、四个支撑块(2)；四个支撑块(2)分别安装在PVC垫板(1)底部的四个拐角处，其特征在于：所述PVC垫板(1)上端面按两条对角线的方向开设有四个贯通槽(3)；四个固定圆杆(4)；每个固定圆杆(4)的底端上均设有锁紧机构，其中部位于所述贯通槽(3)内，并与贯通槽(3)滑动连接，其还上端转动连接有调节圆杆(5)；四个调节圆杆(5)上均设有检测铜片(6)，每个检测铜片(6)的两端均连接两组导线，两组导线中的其中一组并联后接到万用表接口(7)的正负极上，两组导线中的其中另一组两端接到PVC垫板(1)侧面预留的检测柱(61)上，并保持开路状态；所述万用表接口(7)设在所述PVC垫板(1)的一侧。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
