[实用新型]一种蓝宝石晶片加工用快速脱片装置有效
| 申请号: | 201720273468.7 | 申请日: | 2017-03-21 |
| 公开(公告)号: | CN206685348U | 公开(公告)日: | 2017-11-28 |
| 发明(设计)人: | 杨华;陆昌程;孙敦陆 | 申请(专利权)人: | 江苏吉星新材料有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/02 | 分类号: | H01L21/02;H01L21/67;B32B43/00 |
| 代理公司: | 上海海颂知识产权代理事务所(普通合伙)31258 | 代理人: | 陈丽君 |
| 地址: | 212200 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | 本实用新型涉及一种蓝宝石晶片加工用快速脱片装置,包括工作台和顶出机构,工作台上设有加热盘,顶出机构包括轴杆、杠杆和气缸,轴杆外设有轴承、第二挡板和导向套,轴承包括外圈、内圈和保持架,轴承顶部设有硅胶垫,导向套与工作台之间设有固定架,杠杆两端分别设有第一凹口和第二凹口,轴杆底部至于第一凹口内,且与杠杆铰接,升降轴端部置于第二凹口内,且与杠杆铰接,气缸连接有脚踏开关,杠杆两侧设有支撑架;本实用新型操作方便,可使蓝宝石晶片贴于平台加工后快速卸片,且保证产品质量。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 蓝宝石 晶片 工用 快速 装置 | ||
【主权项】:
一种蓝宝石晶片加工用快速脱片装置,包括工作台和顶出机构,其特征为,所述工作台上设有加热盘,所述加热盘内设有通孔,所述顶出机构包括轴杆、杠杆和气缸,所述轴杆顶部设有第一挡板,所述轴杆外设有轴承、第二挡板和导向套,所述轴承包括外圈、内圈和保持架,所述外圈与通孔配合,且内壁上设有第一凹槽,底部设有第二凹槽,所述第一凹槽和第二凹槽分别与第一挡板和第二挡板配合,所述内圈至于第一挡板和第二挡板之间,且内壁与轴杆外壁配合,所述保持架位于外圈和内圈之间,所述保持架上设有若干滚动体;所述轴承顶部设有硅胶垫,所述硅胶垫底部设有凸台,所述凸台与外圈内壁配合,所述导向套与工作台之间设有固定架,所述杠杆两端分别设有第一凹口和第二凹口,所述轴杆底部至于第一凹口内,且与杠杆铰接,所述气缸上设有升降轴,所述升降轴端部置于第二凹口内,且与杠杆铰接,所述气缸连接有脚踏开关,所述杠杆两侧设有支撑架,所述支撑架位于轴杆和升降轴之间,所述支撑架与杠杆之间设有销轴。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





