[实用新型]一种LED混合波长的平行光曝光系统有效
| 申请号： | 201720253644.0 | 申请日： | 2017-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN206557529U | 公开（公告）日： | 2017-10-13 |
| 发明（设计）人： | 张博 | 申请（专利权）人： | 河南百合特种光学研究院有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 新乡市平原专利有限责任公司41107 | 代理人： | 毋致善 |
| 地址： | 453000 河南*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种LED混合波长的平行光曝光系统，包括光源和匀光器、反射镜、透镜、所述光源为LED芯片，LED芯片组中各个LED芯片的紫外光的波长不同且分别与锥形光棒组中的各锥形光棒的小直径端面相对，该锥形光棒组的大直径端面与中空匀光器的进光端面相连，此匀光器的出光端面与斜置的第一反射镜的反射面相对，该第一反射镜的反射面与透镜组一侧的透镜平端面相对，该透镜组另一侧的透镜的平端面与斜置的第二反射镜的反射面相对，该第二反射镜的反射面与透镜的平端面相对，本实用新型与现有技术比较具有光谱照度均匀效率和匀光度高且结构简单成本低的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 led 混合 波长 平行 曝光 系统 | ||
【主权项】：
一种LED混合波长的平行光曝光系统，包括光源和匀光器、反射镜、透镜、其特征在于：所述光源为LED芯片，LED芯片组中各个LED芯片的紫外光的波长不同且分别与锥形光棒组中的各锥形光棒的小直径端面相对，该锥形光棒组的大直径端面与中空匀光器的进光端面相连，此匀光器的出光端面与斜置的第一反射镜的反射面相对，该第一反射镜的反射面与透镜组一侧的透镜平端面相对，该透镜组另一侧的透镜的平端面与斜置的第二反射镜的反射面相对，该第二反射镜的反射面与透镜的平端面相对。
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