[实用新型]一种可拆卸式化学气相沉积喷淋装置

摘要

本实用新型公开了一种可拆卸式化学气相沉积喷淋装置，主要由气体混合腔、喷淋板、喷淋管和可拆顶板组成，其特征在于在现有喷淋装置基础上加一层可拆卸顶板，该顶板通过热接触点与喷淋良好热传导保持可拆顶板温度与冷却后的喷淋面趋向一致。本实用新型的优点是可拆顶板可以简化现有喷淋制造工艺，降低对原喷淋面的加工要求，并可以单独卸下清洗，对提高工艺质量具有积极影响。

主权项

一种可拆卸式化学气相沉积喷淋装置，主要包括喷淋（2）、喷淋进气口（1）、气体混合腔（5）、喷淋管（6）、冷却水进口（3）、冷却水出口（4）、喷淋水冷腔（7）等，其特征在于喷淋（2）底面设置有可拆顶板（8），可拆顶板（8）通过可拆卸的连接方式与喷淋（2）底面连接，所述可拆顶板（8）顶部分布设置有热接触点（9），热接触点（9）由导热良好材料制备，分别与可拆顶板（8）顶面和喷淋（2）底面接触，起到可拆顶板（8）和喷淋（2）间的导热作用，可拆顶板（8）上分布设置有贯穿孔（10），使凸出的喷淋管（6）可以伸入到相应的贯穿孔（10）中。