[实用新型]一种光学测量台架装置有效
| 申请号: | 201720190098.0 | 申请日: | 2017-03-01 |
| 公开(公告)号: | CN206601228U | 公开(公告)日: | 2017-10-31 |
| 发明(设计)人: | 齐威;齐月静;王宇;卢增雄 | 申请(专利权)人: | 中国科学院光电研究院 |
| 主分类号: | G01M11/02 | 分类号: | G01M11/02 |
| 代理公司: | 北京辰权知识产权代理有限公司11619 | 代理人: | 郎志涛 |
| 地址: | 100094*** | 国省代码: | 北京;11 |
| 权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
| 摘要: | 本实用新型涉及一种光学测量台架装置,该台架结构从上至下包括均匀照明系统、平板支撑结构、下层支撑框架、位移台、可移动气浮基座。该台架装置解决了夏克‑哈特曼传感器、双光栅剪切干涉等检测系统的结构调整困难的问题,并且具有一定范围的调节行程,兼容不同焦距的透镜组。该台架装置中心留有较大的安装孔,通过转接法兰,兼容不同直径的镜头,且设计布局开放,便于拆卸及集成安装。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 光学 测量 台架 装置 | ||
【主权项】:
一种光学测量台架装置,其特征在于,该台架结构从上至下包括:均匀照明系统、平板支撑结构、下层支撑框架、位移台、可移动气浮基座。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院光电研究院,未经中国科学院光电研究院许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201720190098.0/,转载请声明来源钻瓜专利网。





