[实用新型]一种光学测量台架装置有效

专利信息
申请号: 201720190098.0 申请日: 2017-03-01
公开(公告)号: CN206601228U 公开(公告)日: 2017-10-31
发明(设计)人: 齐威;齐月静;王宇;卢增雄 申请(专利权)人: 中国科学院光电研究院
主分类号: G01M11/02 分类号: G01M11/02
代理公司: 北京辰权知识产权代理有限公司11619 代理人: 郎志涛
地址: 100094*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 实用新型涉及一种光学测量台架装置,该台架结构从上至下包括均匀照明系统、平板支撑结构、下层支撑框架、位移台、可移动气浮基座。该台架装置解决了夏克‑哈特曼传感器、双光栅剪切干涉等检测系统的结构调整困难的问题,并且具有一定范围的调节行程,兼容不同焦距的透镜组。该台架装置中心留有较大的安装孔,通过转接法兰,兼容不同直径的镜头,且设计布局开放,便于拆卸及集成安装。
搜索关键词: 一种 光学 测量 台架 装置
【主权项】:
一种光学测量台架装置,其特征在于,该台架结构从上至下包括:均匀照明系统、平板支撑结构、下层支撑框架、位移台、可移动气浮基座。
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