[实用新型]一种离子束采集器有效
| 申请号： | 201720168041.0 | 申请日： | 2017-02-23 |
| 公开（公告）号： | CN206451684U | 公开（公告）日： | 2017-08-29 |
| 发明（设计）人： | 谢云;王长梗;张少雷 | 申请（专利权）人： | 北京创世威纳科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/244 | 分类号： | H01J37/244 |
| 代理公司： | 北京尚德技研知识产权代理事务所(普通合伙)11378 | 代理人： | 陈晓平 |
| 地址： | 100085 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种离子束采集器，其包括一个底座，所述底座设置有至少一个滑轨，所述滑轨上可滑动连接有安装架，所述安装架包括底板，所述底板上设置有两块与所述滑轨的轴线垂直的支架板，两块所述支架板之间连接有台板，所述台板上竖直设置两个L形安装耳片，在两个所述形安装耳片之间连接有一个U形安装板，所述U形安装板上设置有多个离子束采集器。本实用新型所提供的一种离子束采集器，结构简单，可在不需要进行样品刻蚀的情况下，在真空腔室中采集到真实工况下的离子束的束流密度信息，从而可以很少的经济代价来调整物理遮挡机构的几何形状。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 离子束 采集 | ||
【主权项】：
一种离子束采集器，其用于在真空腔室中对离子源所发出的离子束进行束流密度检测，其特征在于，其包括一个底座，所述底座设置有至少一个滑轨，所述滑轨上可滑动连接有安装架，所述安装架包括底板，所述底板上设置有两块与所述滑轨的轴线垂直的支架板，两块所述支架板之间连接有台板，所述台板上竖直设置两个L形安装耳片，在两个所述形安装耳片之间连接有一个U形安装板，所述U形安装板上设置有多个离子束采集器。
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