[实用新型]一种微波等离子体粉体处理器

摘要

本实用新型公开了一种微波等离子体粉体处理器，包括由石英、陶瓷或耐热玻璃介质制成的管式微波等离子体源，管式微波等离子体源穿过微波矩形波导的H面，矩形波导的一端连接微波源，矩形波导的另一端连接可调节短路板，穿过微波矩形波导的H面的介质管的上下两端由水冷金属法兰和O形胶圈密封形成真空室，其一端与水冷金属法兰相连接，另一端与矩形波导的H面相连接。本实用新型增添放置处理粉体的石英(或陶瓷)制成的杯形的流化床(流化床杯)，构成一种微波等离子体粉体处理器。用这种装置，将无机材料粉体放置入流化床杯，在管式微波等离子体源的高密度等离子体区域(等离子体球中)进行表面清洗、净化、活化、氢化、刻蚀、接枝、沉积及其它功能化等处理。

主权项

一种微波等离子体粉体处理器，其特征在于：包括由石英、陶瓷或耐热玻璃介质制成的管式微波等离子体源，管式微波等离子体源穿过微波矩形波导的H面，矩形波导的一端连接微波源，矩形波导的另一端连接可调节短路板，穿过微波矩形波导的H面的介质管的上下两端由水冷金属法兰和O形胶圈密封形成真空室，介质管穿出矩形波导管的部分用带观察网孔的金属管或金属网卷成的管包围，其一端与水冷金属法兰相连接，另一端与矩形波导的H面相连接，反应室上端的水冷金属法兰用金属法兰密封，流化床杯装入反应室内。