[实用新型]一种电子源产生装置有效
| 申请号： | 201720136706.X | 申请日： | 2017-02-15 |
| 公开（公告）号： | CN206451682U | 公开（公告）日： | 2017-08-29 |
| 发明（设计）人： | 李帅;何伟 | 申请（专利权）人： | 聚束科技（北京）有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20;H01J37/21 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司11270 | 代理人： | 张颖玲,李梅香 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区经济*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种电子源产生装置，其特征在于，所述装置包括电子枪、电极、光阑组和电磁透镜；其中，所述电子枪，用于发射电子束；所述电极，用于对所述电子束进行加速；所述光阑组包括一个移动装置和多个不同孔径的光阑，通过调节所述移动装置控制加速后的电子束经过所述光阑组中的一个光阑；所述电磁透镜，用于对经过所述光阑的电子束进行会聚，形成电子源。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电子 产生 装置 | ||
【主权项】：
一种电子源产生装置，其特征在于，所述装置包括：电子枪、电极、光阑组和电磁透镜；其中，所述电子枪，用于发射电子束；所述电极，用于对所述电子束进行加速；所述光阑组包括一个移动装置和多个不同孔径的光阑，通过调节所述移动装置控制加速后的电子束经过所述光阑组中的一个光阑；所述电磁透镜，用于对经过所述光阑的电子束进行会聚，形成电子源。
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