[实用新型]一种封闭式多点激光剥蚀样品台

摘要

本实用新型公开了一种封闭式多点激光剥蚀样品台，包括底座、套筒、顶板和转动盘，底座的上部外圈表面密封固定安装在套筒的下部内腔中，套筒的顶部通过焊接方式密封固定设置有顶板，顶板的表面均布加工有镂空，镂空的上部固定安装有盖体，底座的顶板上通过轴承转动设置有转动杆，转动盘的中部下表面与转动杆的顶端固定连接，底座的顶板上表面通过焊接方式固定安装有基座，基座上加工有环形油封腔，转动盘的外圈下表面固定安装有与环形油封腔相互滑动配合的环形滑块，转动盘的上表面还固定设置有样品放置台。本实用新型结构简单，设计合理，操作简单，使用灵活，分析实验效果好、效率高，实用性强。

主权项

一种封闭式多点激光剥蚀样品台，包括底座(1)、套筒(2)、顶板(3)、底盖(4)、转动盘(11)、基座(12)、转动杆(15)和盖体(19)，其特征在于，所述底座(1)为截面成凸字型的柱体结构；所述底座(1)的上部外圈表面通过螺纹连接方式密封固定安装在套筒(2)的下部内腔中；所述套筒(2)的上部侧边分别开设有进气孔(9)和排气孔(10)；所述套筒(2)的顶部通过焊接方式密封固定设置有顶板(3)；所述顶板(3)的表面均布加工有三个呈中心对称设置的镂空(20)；所述镂空(20)的上部通过粘贴方式密封固定安装有盖体(19)；所述底座(1)的上端内部加工有柱形空腔(5)；所述柱形空腔(5)的内部分别设置有驱动电机(6)和减速器(7)；所述底座(1)的顶板上通过轴承(18)转动设置有转动杆(15)；所述转动杆(15)的底端通过减速器(7)与驱动电机(6)的输出轴相连接；所述转动盘(11)的中部下表面与转动杆(15)的顶端通过螺栓连接方式固定连接；所述底座(1)的顶板上表面通过焊接方式固定安装有基座(12)，基座(12)上加工有环形油封腔(13)；所述转动盘(11)的外圈下表面通过焊接方式固定安装有与环形油封腔(13)相互滑动配合的环形滑块(14)；所述转动盘(11)的上表面还固定设置有三个呈中心对称设置的样品放置台(16)；所述柱形空腔(5)的底端内部还设有底盖(4)；所述底座(1)与底盖(4)的外圈之间通过连接螺栓(8)固定连接。