[实用新型]MEMS麦克风有效
| 申请号： | 201720104941.9 | 申请日： | 2017-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN206524970U | 公开（公告）日： | 2017-09-26 |
| 发明（设计）人： | 张金宇 | 申请（专利权）人： | 瑞声科技（新加坡）有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 长沙市阿凡提知识产权代理有限公司43216 | 代理人： | 许立举 |
| 地址： | 新加坡宏茂桥*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种MEMS麦克风，其包括设有收容空间的壳体以及置于所述收容空间中的MEMS芯片，所述MEMS芯片包括设有背腔的基底以及与所述基底连接的振膜和背板，所述振膜和背板形成电容结构，所述壳体设有与外界连接的声孔、与MEMS芯片的背腔连通的第一孔、与收容空间连通的第二孔、连通所述声孔和第一孔的第一连通通道以及连通所述声孔和第二孔的第二连通通道，所述MEMS麦克风还设有置于收容空间中的用于打开或关闭所述第二孔的弹性组件。本实用新型的麦克风抗跌落，不易损坏。 | ||
| 搜索关键词： | mems 麦克风 | ||
【主权项】：
一种MEMS麦克风，其包括设有收容空间的壳体以及置于所述收容空间中的MEMS芯片，所述MEMS芯片包括设有背腔的基底以及与所述基底连接的振膜和背板，所述振膜和背板形成电容结构，其特征在于，所述壳体设有与外界连接的声孔、与MEMS芯片的背腔连通的第一孔、与收容空间连通的第二孔、连通所述声孔和第一孔的第一连通通道以及连通所述声孔和第二孔的第二连通通道，所述MEMS麦克风还设有置于收容空间中的用于打开或关闭所述第二孔的弹性组件。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于瑞声科技（新加坡）有限公司，未经瑞声科技（新加坡）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201720104941.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：用于视频译码的重叠运动补偿
- 下一篇：一种刚柔结合的生态浮床
