[实用新型]一种强流低能团簇离子束导向装置

摘要

本实用新型提供了一种强流低能团簇离子束导向装置，包括一对间隔分布的电极和一对设置于电极周围的磁铁，电极通过一对绝缘体固定并且与磁铁相互隔离，两个电极之间区域构成离子束通道；磁铁和绝缘体通过位于磁铁两端的一对极靴固定，两个磁铁均为永磁铁或电磁铁；本实用新型可提供稳恒‑可变两种磁场模式，通过改变电场强度大小，可调节团簇离子束流输运方向，通过极靴和绝缘体固定磁铁与电极，保证磁铁不会相互排斥或吸引而偏离固定位置，保证磁铁安装的灵活性和安全性，绝缘体隔离磁铁与电极，以保证磁铁与电极位置固定以确保各自的磁场、电场分布比较均匀，确保调节束流方向，在强流低能团簇离子束纳米加工设备中具有重要的实际应用价值。

主权项

一种强流低能团簇离子束导向装置，至少包括一对间隔分布的电极和一对设置于电极周围的磁铁，其特征在于：所述电极通过一对绝缘体固定并且与磁铁相互隔离，两个电极之间区域构成离子束通道；所述磁铁和绝缘体通过位于磁铁两端的一对极靴固定，磁铁位于电极外侧，两个磁铁均为永磁铁或电磁铁。