[实用新型]化学机械研磨装置有效
| 申请号： | 201720099311.7 | 申请日： | 2017-01-23 |
| 公开（公告）号： | CN206662963U | 公开（公告）日： | 2017-11-24 |
| 发明（设计）人： | 李东郁 | 申请（专利权）人： | K.C.科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/34 | 分类号： | B24B37/34;B24B37/10;B24B37/30;B24B37/32 |
| 代理公司： | 北京冠和权律师事务所11399 | 代理人： | 朱健,陈国军 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种化学机械研磨装置，化学机械研磨装置包括载体头，其将基板向研磨垫加压；感知部，其对相对于研磨垫的载体头的姿势变化进行感知，据此可得到的有利的效果在于，在基板相对于载体头开始脱离之前，事先迅速地对基板的脱离可能性进行感知。 | ||
| 搜索关键词： | 化学 机械 研磨 装置 | ||
【主权项】：
一种化学机械研磨装置，其特征在于，包括：载体头，其将基板向研磨垫加压；感知部，其对相对于所述研磨垫的所述载体头的位置变化进行感知；所述感知部对相对于所述研磨垫的所述载体头的位置变化进行感知，从而对相对于所述载体头的所述基板的脱离可能性进行感知；所述载体头包括对所述基板的侧面进行约束的护环，所述感知部对相对于所述研磨垫的所述护环的位置变化进行感知。
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