[实用新型]一种用于半导体晶圆的便携提篮有效
| 申请号： | 201720080677.X | 申请日： | 2017-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN206471313U | 公开（公告）日： | 2017-09-05 |
| 发明（设计）人： | 聂伟;陈志远;张方方;曹文文;姜红涛 | 申请（专利权）人： | 江苏汇成光电有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673 |
| 代理公司： | 南京苏科专利代理有限责任公司32102 | 代理人： | 董旭东 |
| 地址： | 225128 江苏省扬*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了半导体治具领域内的一种用于半导体晶圆的便携提篮，包括可以盛放晶圆的提篮，提篮侧面安装有把手，所述提篮侧面设置有两个一左一右互相对应的把手，提篮侧面还设置有上横梁和下横梁，上横梁和下横梁之间设置有两根平行的竖直轴，所述把手分别转动连接在对应竖直轴上，把手呈U型，把手由上水平边框、下水平边框以及连接上水平边框和下水平边框端部的竖直边框组成，竖直边框的上端倾斜设置，竖直边框朝向竖直轴的一侧从上到下分别设置有四个形状与人的手指相吻合的抓握凹槽。本实用新型的把手更加方便操作人员抓握，提高了抓握把手时的舒适性，确保移动提篮时提篮的开口朝上，避免提篮内的晶圆掉落摔坏。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 半导体 便携 提篮 | ||
【主权项】：
一种用于半导体晶圆的便携提篮，包括可以盛放晶圆的提篮，提篮侧面安装有把手，其特征在于，所述提篮侧面设置有两个一左一右互相对应的把手，提篮侧面还设置有上横梁和下横梁，上横梁和下横梁之间设置有两根平行的竖直轴，所述把手分别转动连接在对应竖直轴上，把手呈U型，把手由上水平边框、下水平边框以及连接上水平边框和下水平边框端部的竖直边框组成，竖直边框的上端倾斜设置，竖直边框朝向竖直轴的一侧从上到下分别设置有四个形状与人的手指相吻合的抓握凹槽。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
