[实用新型]超声波清洗槽有效
| 申请号： | 201720067649.4 | 申请日： | 2017-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN206500403U | 公开（公告）日： | 2017-09-19 |
| 发明（设计）人： | 夏康伦 | 申请（专利权）人： | 昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司44224 | 代理人： | 唐清凯 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种超声波清洗槽，包括槽底；安装于所述槽底上用于发射超声波的振子；与所述槽底的边缘连接的槽壁；所述槽壁的横截面积沿远离槽底的方向减小；所述槽壁的内表面设置有用于调整超声波分布的峰谷结构，峰谷结构包括弧形凸起部。本实用新型中槽壁的横截面积沿远离槽底的方向减小，当超声波在清洗液中传输时，截面积依次缩小会加强超声波的反射，降低超声波减弱的速度，提升清洗效果；同时，槽壁的内表面设置有用于调整超声波分布的峰谷结构，峰谷结构可以调整反射的超声波的分布，将超声波引流到两侧，不会影响超声波原有的波形和其它位置的超声波，从而提升对掩膜版的清洗效果。 | ||
| 搜索关键词： | 超声波 清洗 | ||
【主权项】：
一种超声波清洗槽，其特征在于，包括：槽底；安装于所述槽底上用于发射超声波的振子；与所述槽底的边缘连接的槽壁；所述槽壁的横截面积沿远离所述槽底的方向减小；所述槽壁的内表面设置有用于调整所述超声波分布的峰谷结构，所述峰谷结构包括弧形凸起部。
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