[实用新型]微型流体控制装置有效
| 申请号： | 201720042852.6 | 申请日： | 2017-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN206439166U | 公开（公告）日： | 2017-08-25 |
| 发明（设计）人： | 廖家淯;陈世昌;黄启峰;韩永隆 | 申请（专利权）人： | 研能科技股份有限公司 |
| 主分类号： | F04B43/04 | 分类号： | F04B43/04 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司31100 | 代理人： | 喻学兵 |
| 地址： | 中国台湾新竹市*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 一种微型流体控制装置，包括一进气板；一共振片，具有一中空孔洞；一压电致动器；一集气板，具有一凹置槽面、一基准表面及一贯穿孔，凹置槽面具有一深度，可供压电致动器、共振片及进气板依序堆叠容置组装定位其中，而凹置槽面底部凹置形成一集气腔室，透过贯穿孔与基准表面连通，且集气腔室受压电致动器承载于上方而封闭；其中该共振片与该压电致动器之间具有一间隙形成一暂存腔室，该压电致动器受驱动时，气体由该进气板进入，流经该共振片，以进入该暂存腔室内再传输至集气腔室，透过贯穿孔排出集气板外，以持续传输气体。 | ||
| 搜索关键词： | 微型 流体 控制 装置 | ||
【主权项】：
一种微型流体控制装置，其特征在于，包括：一进气板；一共振片，具有一中空孔洞；一压电致动器；一集气板，具有一凹置槽面、一基准表面及一贯穿孔，该凹置槽面具有一深度，可供该压电致动器、该共振片及该进气板依序堆叠容置组装定位其中，而该凹置槽面底部凹置形成一集气腔室，透过该贯穿孔与该基准表面连通，且该集气腔室受该压电致动器承载于上方而封闭；其中该共振片与该压电致动器之间具有一间隙形成一暂存腔室，该压电致动器受驱动时，气体由该进气板进入，流经该共振片，以进入该暂存腔室内再传输至该集气腔室，透过该贯穿孔排出该集气板外，以持续传输气体。
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