[实用新型]精确可控的供气系统有效

专利信息
申请号: 201720034917.2 申请日: 2017-01-12
公开(公告)号: CN206339890U 公开(公告)日: 2017-07-18
发明(设计)人: 范洪峰;马龙进 申请(专利权)人: 无锡帕捷科技有限公司
主分类号: G05D27/02 分类号: G05D27/02
代理公司: 江苏漫修律师事务所32291 代理人: 赵臻淞
地址: 214124 江苏省无*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了一种精确可控的供气系统,包括串联连接的干燥模块、流量控制模块、温度控制模块与侦测模块,温度控制模块的制冷蒸发器和加热器安装在同一管路,经过干燥处理的气体经质量流量控制器控制流量后依次通过制冷蒸发器和加热器,得到温度和流量可控的气体,气路结构简单且控制精确。本实用新型在温度流量可控的基础上还包括湿度控制模块,在质量流量控制器的出气端管路上安装三通分流阀,利用三通分流阀将经过质量流量控制器控制的一定流量的干燥气体分为两路,一路通过温度控制模块控制温度,另一路经过加湿模块的加湿桶和疏水阀加湿,两路气体混合后得到温度、湿度和流量同时精确可控的气体。
搜索关键词: 精确 可控 供气 系统
【主权项】:
一种精确可控的供气系统,其特征在于:至少包括串联连接的流量控制模块与温度控制模块,所述流量控制模块包括依次串联的精密过滤器(6)、电气比例阀(7)与质量流量控制器(8);所述温度控制模块包括串联连接的制冷蒸发器(9)与加热器(11),制冷蒸发器(9)连接制冷系统(10);加热器(11)出气端的管道上安装有侦测模块。
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