[实用新型]高纯氨气瓶余气的一体化组合式批量处理系统

摘要

本实用新型公开了高纯氨气瓶余气的一体化组合式批量处理系统，包括第一管路、第二管路、回收管路、检测管路和洗气管路，以及若干并列设置于第一管路和第二管路之间的相互独立的待处理瓶管路；各待处理瓶管路均分别包括用于连接待处理瓶气相阀和第一管路的第三阀门，和用于连接待处理瓶液相阀和第二管路的第五阀门；所述第二管路分别与检测管路、回收管路和洗气管路的入口连接。本系统可实现全过程无排放处理，且使用方式灵活易用，兼容性高，不仅能有效提高高纯氨气瓶余气回收处理的效率，而且避免了因直接排放处理或其他方式处理效果不佳而造成的环境和安全隐患问题，具有较高的实用性和可推广性。

主权项

一种高纯氨气瓶余气的一体化组合式批量处理系统，其特征在于：包括第一管路(20)、第二管路(21)、回收管路、检测管路和洗气管路，以及若干并列设置于第一管路(20)和第二管路(21)之间的相互独立的待处理瓶管路；各待处理瓶管路均分别包括用于连接待处理瓶气相阀和第一管路(20)的第三阀门(3)，和用于连接待处理瓶液相阀和第二管路(21)的第五阀门(5)；所述回收管路包括依次连接的第十阀门(10)、压缩机(11)、第三管路(22)，以及若干并列设置于第三管路(22)上的用于连接回收瓶的第十二阀门(12)；所述检测管路包括依次连接的第七阀门(7)和氨气浓度测试仪(8)；所述洗气管路包括依次连接的第九阀门(9)和多级吸收塔；所述第二管路(21)分别与检测管路、回收管路和洗气管路的入口连接。