[实用新型]一种多晶硅棒空间倾角激光测量装置有效

专利信息
申请号: 201720010873.X 申请日: 2017-01-05
公开(公告)号: CN206339206U 公开(公告)日: 2017-07-18
发明(设计)人: 白荣林;徐灵通;严曜晖;曲宴良;顾国宝;张斌;阮红坤;李鸿祥;杨文涛;宁涓;张军;张平;宋奎 申请(专利权)人: 昆明冶研新材料股份有限公司;云南众诚士德柔性自动化设备有限公司
主分类号: G01B11/26 分类号: G01B11/26
代理公司: 昆明知道专利事务所(特殊普通合伙企业)53116 代理人: 姜开远,谢乔良
地址: 655051 云南*** 国省代码: 云南;53
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摘要: 实用新型公开了一种多晶硅棒空间倾角激光测量装置,包括底部竖直铰接于摆动机构上部的支架,固定设置于支架上部且与铰接部旋转中心的垂直线水平对称的激光测距仪Ⅰ、激光测距仪Ⅱ,固定设置于支架下部且与激光测距仪Ⅰ或激光测距仪Ⅱ中心连线与过铰接部旋转中心垂直线平行的激光测距仪Ⅲ,摆动机构与移动机构固定连接,移动机构设置于底座并沿支架的摆动方向相对底座水平移动,激光测距仪Ⅰ、激光测距仪Ⅱ及激光测距仪Ⅲ与控制装置电连接,控制装置用于将激光测距仪Ⅰ、激光测距仪Ⅱ和激光测距仪Ⅲ的测量信号转化为多晶硅棒空间倾角值并输出。本实用新型具有结构简单、环境适应能力强、测量速度快且精度高、成本低的特点。
搜索关键词: 一种 多晶 空间 倾角 激光 测量 装置
【主权项】:
一种多晶硅棒空间倾角激光测量装置,其特征在于包括底座(1)、支架(2)、摆动机构(3)、移动机构(4)、控制装置(5)、激光测距仪Ⅰ(6)、激光测距仪Ⅱ(7)、激光测距仪Ⅲ(8),所述支架(2)的底部竖直铰接于摆动机构(3)的上部,所述激光测距仪Ⅰ(6)、激光测距仪Ⅱ(7)分别固定设置于支架(2)的上部且与过摆动机构(3)之铰接部旋转中心的垂直线水平对称,所述激光测距仪Ⅲ(8)固定设置于支架(2)的下部且与激光测距仪Ⅰ(6)或激光测距仪Ⅱ(7)的中心连线与过摆动机构(3)之铰接部旋转中心的垂直线平行,所述摆动机构(3)与移动机构(4)固定连接,所述移动机构(4)设置于底座(1)并能沿支架(2)的摆动方向相对底座(1)水平移动,所述激光测距仪Ⅰ(6)、激光测距仪Ⅱ(7)、激光测距仪Ⅲ(8)分别与控制装置(5)电连接,所述控制装置(5)用于将激光测距仪Ⅰ(6)、激光测距仪Ⅱ(7)和激光测距仪Ⅲ(8)的测量信号转化为多晶硅棒空间倾角值并输出。
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