[实用新型]一种罩式退火炉的尾气回收净化及循环利用系统

摘要

本实用新型提供了一种罩式退火炉的尾气回收净化及循环利用系统，包括顺次连接设置的第一冷凝装置、前级油气分离装置、氢气压缩装置、后级油气分离装置、第二冷凝装置、除氧装置、变压吸附装置、氧气测试仪、露点仪及氢气纯度仪。本实用新型所述的尾气回收净化系统不仅能够完全除去尾气中的油气，并且本实用新型所述的尾气回收系统由于不含淋洗装置，而是借助于两级冷凝器和两级油气分离装置除去气体中的粉尘颗粒，故而本实用新型无需单独设置除水装置，由此可大幅降低设备的投资成本。

主权项

一种罩式退火炉的尾气回收净化及循环利用系统，其特征在于，所述尾气回收净化及循环利用系统由除氧装置(10)、变压吸附装置(11)、氧气测试仪(13)、露点仪(14)、氢气纯度仪(15)、第一冷凝装置(2)、前级油气分离装置(3)、氢气压缩装置(6)、后级油气分离装置(7)、第二冷凝装置(8)、前级缓冲装置(5)、加热装置(9)、后级缓冲装置(12)、储氢罐(4)和稳压装置(16)组成；其中，所述除氧装置(10)、所述变压吸附装置(11)、所述氧气测试仪(13)、所述露点仪(14)及所述氢气纯度仪(15)顺序连接设置，所述除氧装置(10)连接退火炉(1)的尾气出口，所述氢气纯度仪(15)与所述退火炉(1)的保护气进口相连通；所述第一冷凝装置(2)、所述前级油气分离装置(3)、氢气压缩装置(6)、后级油气分离装置(7)和所述第二冷凝装置(8)设置在所述除氧装置(10)与所述退火炉(1)的尾气出口之间；所述第一冷凝装置(2)的进气口连通所述退火炉(1)的尾气出口；所述前级油气分离装置(3)的进气口与所述第一冷凝装置(2)的排气口连接；所述氢气压缩装置(6)的进气口连通所述前级油气分离装置(3)的排气口；后级油气分离装置(7)的进气口连接所述氢气压缩装置(6)的排气口；所述第二冷凝装置(8)的进气口与所述后级油气分离装置(7)的排气口相连接，所述第二冷凝装置(8)的排气口连通所述除氧装置(10)的进气口；所述前级缓冲装置(5)设置于所述前级油气分离装置(3)与所述氢气压缩装置(6)之间，所述前级缓冲装置(5)具有两个气体入口，其中一个所述气体入口与所述前级油气分离装置(3)的排气口相连，另一个所述气体入口连通储氢罐(4)；所述加热装置(9)设置于所述第二冷凝装置(8)与所述除氧装置(10)之间；所述后级缓冲装置(12)设置于所述变压吸附装置(11)与所述氧气测试仪(13)之间；所述稳压装置(16)设置于所述退火炉(1)的保护气进口与所述氢气纯度仪(15)之间。