[发明专利]电镀用屏蔽装置在审
申请号: | 201711484788.8 | 申请日: | 2017-12-29 |
公开(公告)号: | CN108004575A | 公开(公告)日: | 2018-05-08 |
发明(设计)人: | 王振荣;黄利松;刘红兵 | 申请(专利权)人: | 上海新阳半导体材料股份有限公司 |
主分类号: | C25D7/12 | 分类号: | C25D7/12;C25D17/00 |
代理公司: | 上海脱颖律师事务所 31259 | 代理人: | 李强;倪嘉慧 |
地址: | 201616 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明公开了一种电镀用屏蔽装置,包括:阴极屏蔽板和阳极屏蔽板,阴极屏蔽板和阳极屏蔽板间隔设置,阳极屏蔽板上设有若干第一通孔,阴极屏蔽板上设有若干第二通孔,所述第一通孔与所述第二通孔相对设置,使得电力线可自所述第一通孔穿过并穿过所述第二通孔。本发明能够控制电力线的走向,提高晶圆电镀的效率。 | ||
搜索关键词: | 电镀 屏蔽 装置 | ||
【主权项】:
1.电镀用屏蔽装置,其特征在于,包括:阴极屏蔽板和阳极屏蔽板,阴极屏蔽板和阳极屏蔽板间隔设置,阳极屏蔽板上设有若干第一通孔,阴极屏蔽板上设有若干第二通孔,所述第一通孔与所述第二通孔相对设置,使得电力线可自所述第一通孔穿过并穿过所述第二通孔。
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