[发明专利]一种具有Si含量梯度变化的中间层的AlCrSiN涂层、制备方法有效
| 申请号： | 201711483447.9 | 申请日： | 2017-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN108118301B | 公开（公告）日： | 2020-01-21 |
| 发明（设计）人： | 张世宏;高营;蔡飞;张林;方炜;王启民 | 申请（专利权）人： | 安徽多晶涂层科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/06;C23C14/02 |
| 代理公司： | 34153 合肥昊晟德专利代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 王林 |
| 地址： | 243000 安徽省马鞍山市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种具有Si含量梯度变化的中间层的AlCrSiN涂层、制备方法，所述涂层由表面到基材依次为AlCrSiN工作层、中间层、AlCrN打底层；由AlCrN打底层到AlCrSiN工作层，中间层的Si含量依次从1wt％增加到5wt％，组织结构依次为粗大柱状晶、细小柱状晶、细小等轴晶，晶粒尺寸由60nm降低至20nm。使用本发明制成的刀具，切削试验表明在高速钢基体上涂层刀具的切削寿命可提高2倍以上，其抗机械磨损性能和抗高温氧化性能均有大幅度提高，可以满足高速加工对刀具材料的要求，有巨大的市场潜力和使用价值。 | ||
| 搜索关键词： | 中间层 含量梯度 打底层 工作层 切削 制备 抗高温氧化性能 粗大柱状晶 高速钢基体 抗机械磨损 晶粒 刀具材料 高速加工 市场潜力 涂层刀具 组织结构 等轴晶 柱状晶 基材 刀具 试验 | ||
【主权项】：
1.一种具有Si含量梯度变化的中间层的AlCrSiN涂层，其特征在于，所述涂层由表面到基材依次为AlCrSiN工作层、中间层、AlCrN打底层；由AlCrN打底层到AlCrSiN工作层，中间层的Si含量依次从1wt％增加到5wt％，组织结构依次为粗大柱状晶、细小柱状晶、细小等轴晶，晶粒尺寸由60nm降低至20nm；/n所述AlCrSiN涂层的制备方法，包括以下步骤：/n(1)将真空炉抽至本底真空1×10
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