[发明专利]光刻胶及其制备方法有效
| 申请号： | 201711467218.8 | 申请日： | 2017-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN108089400B | 公开（公告）日： | 2020-06-05 |
| 发明（设计）人： | 陈黎暄 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004 |
| 代理公司： | 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280 | 代理人： | 李莉 |
| 地址： | 518006 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请公开了一种光刻胶及其制备方法，光刻胶包括：包括至少一种树脂、光引发剂、溶剂以及至少一种散射粒子，散射粒子用于对照射入光刻胶中的紫外光进行散射。通过上述方式，本申请能够提高光刻胶在曝光过程中获取的曝光能量，从而降低光刻胶所需要的曝光时间。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种光刻胶，其特征在于，所述光刻胶包括至少一种树脂、光引发剂、溶剂以及至少一种散射粒子，所述散射粒子用于对照射入所述光刻胶中的紫外光进行散射。
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