[发明专利]一种电迁移加速测试方法有效
| 申请号： | 201711465933.8 | 申请日： | 2017-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN108181571B | 公开（公告）日： | 2020-07-31 |
| 发明（设计）人： | 郑辉;尹彬锋;陈雷刚;周柯;高金德 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28;G01R31/26 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 智云 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种电迁移加速测试方法，包括：获取能消除测试结构焦耳热的临界电流密度；预估测试结构总数；对所述测试结构施加多个低于临界电流密度的电流进行电迁移加速测试使测试结构加速失效，并得到加速失效时间；当测试结构加速失效数量达到预设值时，停止测试，获取失效测试结构的加速失效时间对累计加速失效率的分布；根据测试结构的加速失效时间对累计加速失效率的分布计算测试结构的寿命。通过获取能消除测试结构焦耳热的电流范围，再从其中选取多个电流密度对应的电流对测试结构进行电迁移加速测试，避免了电迁移加速测试中焦耳热的影响，最终使获取的测试结构的寿命更加准确。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 迁移 加速 测试 方法 | ||
【主权项】：
1.一种电迁移加速测试方法，其特征在于，所述电迁移加速测试方法包括：获取能消除测试结构焦耳热的临界电流密度；选取多个低于临界电流密度的电流作为加速测试电流，对于不同的测试电流，分别预估在可接受的最大测试时间内使失效样品的累计数量达到预设值所需的测试结构总数的最小值；选取数量大于所述预估的测试结构总数最小值的测试结构，对所述测试结构施加相应的低于临界电流密度的电流进行电迁移加速测试使测试结构加速失效，并得到加速失效时间和累计加速失效率；当测试结构加速失效数量达到预设值时，停止测试，并获取测试结构的加速失效时间对累计加速失效率的分布；根据测试结构的加速失效时间对累计加速失效率的分布计算测试结构的寿命。
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