[发明专利]基于白光光栅干涉法的微小颗粒检查方法及设备

摘要

本发明涉及一种基于白光光栅干涉法的微小颗粒检查方法及设备，其特征是，包括：承载系统；光学成像系统；光学照明系统，所述光学照明系统包括光源以及设置于光源前面的光栅；控制系统，所述控制系统与承载系统连接，用于控制承载系统沿X轴移动和水平转动；以及，计算机系统，所述计算机系统与光学成像系统和控制系统连接，用于对光学成像系统回传的检测图像进行处理，识别图像中待检测样品的表面缺陷以及用于输出指令，使得控制系统控制承载系统的动作。本发明可以快速检测出待检测样品表面的微小凸起或凹陷。 1

主权项

1.一种基于白光光栅干涉法的微小颗粒检查设备，其特征是，包括：

承载系统（3），所述承载系统（3）用于承载并夹持待检测样品并能够带动待检测样品沿X轴移动以及水平转动；

光学成像系统（4），所述光学成像系统（4）安装于承载系统（3）上方，光学成像系统（4）用于对待检测样品进行放大成像检测，并回传检测图像；

光学照明系统（5），所述光学照明系统（5）位于光学成像系统（4）的一侧，所述光学照明系统（5）包括光源（501）以及设置于所述光源（501）前面的光栅（502）；

控制系统（6），所述控制系统（6）与承载系统（3）连接，用于控制承载系统（3）沿X轴移动和水平转动；

以及，计算机系统（7），所述计算机系统（7）与光学成像系统（4）和控制系统（6）连接，用于对光学成像系统（4）回传的检测图像进行处理，识别图像中待检测样品的表面缺陷以及用于输出指令，使得控制系统（6）控制承载系统（3）的动作。

2.如权利要求1所述的基于白光光栅干涉法的微小颗粒检查设备，其特征是：还包括底座（1）和设置在底座（1）上的立柱（2）；所述承载系统（3）安装在底座（1）上；所述光学成像系统（4）上下滑动式安装于立柱（2）上。

3.如权利要求1所述的基于白光光栅干涉法的微小颗粒检查设备，其特征是：所述光源（501）为普通白光光源。

4.如权利要求1所述的基于白光光栅干涉法的微小颗粒检查设备，其特征是：所述光学照明系统（5）与光学成像系统（4）形成一夹角。

5.如权利要求1所述的基于白光光栅干涉法的微小颗粒检查设备，其特征是：所述承载系统（3）包括X轴台（301），该X轴台（301）能够沿X轴移动；在所述X轴台（301）上面固定有一个旋转台（302），旋转台（302）上固定有一个承载台（303），承载台（303）上承载夹持待检测样品；所述X轴台（301）和旋转台（302）分别与驱动设备连接，驱动设备连接控制系统（6）。

6.如权利要求1所述的基于白光光栅干涉法的微小颗粒检查设备，其特征是：所述光学成像系统（4）包括相机（401）、位于相机（401）下方的显微筒镜（402）以及设置于显微筒镜（402）底部的显微物镜（403）。

7.如权利要求6所述的基于白光光栅干涉法的微小颗粒检查设备，其特征是：所述相机（401）采用CCD或CMOS相机；所述显微筒镜（402）的放大倍数在1X到10X之间。

8.如权利要求1所述的基于白光光栅干涉法的微小颗粒检查设备，其特征是：所述计算机系统（7）包括分别与光学成像系统（4）、控制系统（6）连接的主机（701）以及与主机（701）连接的显示器（702）；所述主机（701）实现对光学成像系统（401）的控制、对控制系统（6）的控制、以及图像处理及识别。

9.如权利要求1所述的基于白光光栅干涉法的微小颗粒检查设备，其特征是：所述承载系统（3）还包括用于手动调节旋转台（302）转动的第一手动旋转钮（304）以及用于手动调节X轴台（301）移动的第二手动旋转钮（305）。

10.一种基于白光光栅干涉法的微小颗粒检查方法，其特征是，包括以下步骤：

S1、将待检测样品放置在承载系统（3）上，使显微物镜（403）可以扫描整个待检测样品，打开白光光源（501）；

S2、微调待检测样品，把干涉条纹调到充满整个视场，且条纹对称；

S3、在计算机系统（7）上得到待检测样品在相机（401）上成的像，对图像进行调焦，得到清晰的待检测样品表面图像；

S4、分析检测获取的图像信息，检查凸起或凹陷。